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| https://www.monotaro.com/p/8441/2224/ | 2026/07/05 21:10:46 |
 | アズワン 6インチSICウェハ 研究用 |
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| 特長: | 研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。 |
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| 注意: | ●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。 |
| 仕様: | ●グレード：Production Grade●タイプ：4H●Surface orientation error：＜11-20＞4±0.15°●ドーパント：n-type●抵抗率：0.015～0.025Ω●直径：150.0±0.2mm●厚み：350±25μm●1次オリフラ：[1-100]±5°●1次オリフラ長さ：47.5±1.5mm●2次オリフラ：None●TTV：≦3μm●Bow：-25～25μm●Warp：≦35μm●表面仕上げ：Si面 CMP Si-faceCMP●Back Finish：C-face polished●表面粗さ(Si-face)：Ra≦0.2nm(5μm×5μm)●マイクロパイプ：≦0.2ea/cm2●BPD：≦1500ea/cm2●TSD：≦300ea/cm2●数量：1枚(1箱)●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。 |
| アズワン品番: | 67-3018-34 |
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