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| https://www.monotaro.com/p/8445/3917/ | 2026/05/17 01:49:02 |
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TanKeBlue
単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-半絶縁 ZMPグレード/プライムグレード |
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| 特長: | 高品質の単結晶SiC半絶縁ウェハ |
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| 仕様: | ●ポリタイプ: 4H-SiC●サイズ: Φ4inch(99.5-100mm)●グレード: ZMP(プライムグレード相当)●厚さ: 500 μm +- 25μm●オフ角: <0001> on-axis +/-0.5°●オリフラ付: {10-10}に平行して+/-0.5°●長さ:32.5 +/- 2mm●マイクロパイプ密度: 1個以下/cm2●比抵抗値: ≧1E 10 Ω・cm●仕上げ: Si面→CMP、C面→ 光学鏡面●梱包:シングルケース |
| アズワン品番: | 68-4088-74 |
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