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| https://www.monotaro.com/p/8445/3917/ | 2026/07/05 23:07:28 |
 | TanKeBlue 単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-半絶縁 ZMPグレード/プライムグレード |
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| 特長: | 高品質の単結晶SiC半絶縁ウェハ |
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| 仕様: | ●ポリタイプ： 4H-SiC●サイズ： Φ4inch(99.5-100mm)●グレード： ZMP(プライムグレード相当)●厚さ： 500 μm +- 25μm●オフ角： ＜0001＞ on-axis +/-0.5°●オリフラ付： {10-10}に平行して+/-0.5°●長さ：32.5 +/- 2mm●マイクロパイプ密度： 1個以下/cm2●比抵抗値： ≧1E 10 Ω・cm●仕上げ： Si面→CMP、C面→ 光学鏡面●梱包：シングルケース |
| 材質: | 炭化ケイ素 |
| アズワン品番: | 68-4088-74 |
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