| 出力: | A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力 (EIA-422に準拠) |
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| 分解能(μm): | 0.1 |
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| 測定範囲(mm): | 12 |
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| 精度(μm): | 1p-p |
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| 測定力(N): | 上方位：0.4±0.3・0.6±0.5(空気圧押出しタイプ)、横方位：0.5±0.3・0.7±0.5(空気圧押出しタイプ)、下方位：0.6±0.3・0.8±0.5(空気圧押出しタイプ)※空気圧：0.055MPaの時 |
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| 最大応答速度(m/min): | 80 |
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| 耐振動(m/s<sup>2</sup>): | 100(20～2000Hz) |
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| 耐衝撃(m/s<sup>2</sup>): | 1000(11ms) |
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| 保護等級: | ストレートタイプ：IP67、ライトアングルタイプ：IP64 (IP67 ※) |
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| 使用温度範囲(℃): | 0～50(結露無き事) |
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| 電源電圧(V): | DC5±5% |
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| 消費電力(W): | 1 |
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| ケーブル長(m): | 2.5(出力) |
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| 質量(g): | 約30 |
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| 測定子: | 超硬合金球面付 取付ねじM2.5 |
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| 付属品: | 取扱説明書、+P M4×5ねじ2本、締付けナット、クランプスパナ、ウェーブワッシャ、ホースエルボ1個、スパナ1個 |
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| 駆動方式: | 【スピンドル】バネ押出し/真空引き込み |
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| 保存温湿度範囲: | -20～60℃/90%RH以下 |
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| 仕様: | 【原点位置】スピンドル移動1mm±0.5mmの位置 |
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