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XY直交度(mm):
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0.006
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ストローク(X距離)(mm):
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±15
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ストローク(Y距離)(mm):
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±15
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種類:
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xyステージ
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テーブル長さ(mm):
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70
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テーブル幅(mm):
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70
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耐荷重(N):
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39.2
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送り方式:
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送りねじ
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移動ガイド:
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HG-VCR(V溝とクロスローラ)
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特長:
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HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
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仕様:
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ボールねじ仕様(対称型)
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質量(kg):
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1.2
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表面処理:
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(テーブル)黒アルマイト梨地
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繰返し精度(mm):
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±0.0003
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センサー:
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原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
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分解能:
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0.002mm
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平行度(mm):
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運動/0.02
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適合ケーブル:
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ACB-STM2、ACB-STM3
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RoHS指令(10物質対応):
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対応
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移動方向:
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XY軸2方向
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移動精度(mm):
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真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
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モーメント剛性(sec/N・cm):
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ヨー剛性:0.12、ピッチ剛性:0.16、ロール剛性:0.16
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使用モータ:
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PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
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送りねじリード(mm):
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1
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位置決め精度(mm):
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0.012
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ロストモーション(mm):
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0.001
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最高速度(mm/s):
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16(8000pps時)
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材質(テーブル):
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アルミ合金
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