|
ストローク(X距離)(mm)：
|
±7.5
|
|
種類：
|
Xステージ
|
|
テーブル長さ(mm)：
|
40
|
|
テーブル幅(mm)：
|
40
|
|
耐荷重(N)：
|
49
|
|
送り方式：
|
送りねじ
|
|
移動ガイド：
|
HG-VCR(V溝とクロスローラ)
|
|
特長：
|
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ 仕様スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
|
|
仕様：
|
ボールねじ仕様スケール付(対称型)
|
|
質量(kg)：
|
0.35
|
|
表面処理：
|
(テーブル)黒アルマイト梨地
|
|
繰返し精度(mm)：
|
±0.0003
|
|
センサー：
|
原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
|
|
分解能：
|
0.002mm
|
|
平行度(mm)：
|
運動/0.015
|
|
適合ケーブル：
|
ACB-STM2、ACB-STM3
|
|
スケール：
|
【形式】GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)、【分解能】5μm〜0.05μm、【精度】±60nm/0.02mm
|
|
移動方向：
|
X軸1方向
|
|
移動精度(mm)：
|
真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
|
|
モーメント剛性(sec/N・cm)：
|
ヨー剛性：0.25、ピッチ剛性：0.3、ロール剛性：0.3
|
|
使用モータ：
|
PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
|
|
送りねじリード(mm)：
|
1
|
|
位置決め精度(mm)：
|
0.006
|
|
ロストモーション(mm)：
|
0.001
|
|
最高速度(mm/s)：
|
16(8000pps時)
|
|
材質(テーブル)：
|
アルミ合金
|
