|
ストローク(X距離)(mm)：
|
±3
|
|
種類：
|
Xステージ
|
|
テーブル長さ(mm)：
|
60
|
|
テーブル幅(mm)：
|
60
|
|
耐荷重(N)：
|
196
|
|
送り方式：
|
MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
|
|
移動ガイド：
|
HG-VCR(V溝とクロスローラ)
|
|
質量(kg)：
|
0.4
|
|
感度：
|
0.001mm
|
|
クランプ：
|
操作側板クランプ
|
|
特長：
|
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
|
|
平行度(mm)：
|
0.015、運動の平行度：0.007
|
|
目量：
|
マイクロメータ式0.002mm
|
|
材質/処理：
|
(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
|
|
RoHS指令(10物質対応)：
|
対応
|
|
操作位置：
|
サイド
|
|
移動方向：
|
X軸1方向
|
|
移動精度(mm)：
|
真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
|
|
モーメント剛性(sec/N・cm)：
|
ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
|
|
許容モーメント荷重(N・cm)：
|
ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200
|
|
移動量：
|
(ツマミ1回転)0.1mm
|
