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XY直交度(mm)：
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0.02
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ストローク(X距離)(mm)：
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±7.5
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ストローク(Y距離)(mm)：
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±7.5
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ストローク(Z距離)(mm)：
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0〜10
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種類：
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xyzステージ/回転ステージ
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耐荷重(N)：
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29.4
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送り方式：
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(XY軸)CMH-15F、(Z軸)CMH-13FM、(回転軸)CEH-13R (各軸標準マイクロメータ)
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移動ガイド：
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(XY軸)V溝とクロスローラ、(Z軸)V溝レールと鋼球、(回転軸)すり合わせ式
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操作位置：
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(XY軸)逆サイド
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特長：
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XY軸、Z軸、回転軸のスリムステージを組み合わせた、XYZ回転ステージです。
マイクロメータヘッドの向きを逆にしたタイプがあり、左右からの操作が可能です。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
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質量(kg)：
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1.75
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感度：
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(XYZ軸)0.003mm
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クランプ：
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(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
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目量：
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(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み5′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm°)
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材質/処理：
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(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
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RoHS指令(10物質対応)：
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対応
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ステージ寸法(mm)：
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Φ90
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移動方向：
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XYZ回転4方向
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移動精度(mm)：
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真直度(XY軸)0.003、(Z軸)0.008、心円度(回転軸)0.04、面振れ(回転軸)0.02
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移動量(°)：
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粗動360・微動±5
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移動量：
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(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.5°
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