クリーンルーム用そうじ機の用途と仕様
クリーンルーム用そうじ機
クリーンルーム内製造工程で発生する汚染防止用クリーナーです。
使用環境と用途と仕様
| クリーン度 | 清浄度クラスISO／F.S209E | 用途 | フィルター |
|---|---|---|---|
| 高 ↕ 低 |
4／10 | 製造装置まわり残留物回収 | ULPA |
| 5／100 | フロア・製造装置まわり清掃 | HEPA | |
| 6／1000～8／100000 | クリーンルーム内、外区域清掃 |
業界基準(規格)
清浄度は空気のきれいさを表す尺度です。清浄度を表す規格にはISO(国際標準化機構)とF.S209E(米国連邦規格)が主流です。ISOでは1m3の空域内に0.1マイクロメートルの粒子が何個あるかを1～9のクラスに分類します。F.S209Eは1立法フィート中に0.5マイクロメートル以上の粒子数に基づく指数でクラス1～000000に分類しています。
※F.S209Eは既に廃止されていますが現在でも一般的に使用されている基準値です。
注意事項
HEPA/ULPA付クリーナーでも排気側にフィルターが付いていないとクリーンルームには使用できません。
（モーターから発生するカーボンなどの粉じんも捕集しなければなりません。）
クラス10以下で使用できるクリーナー
- 排気側にULPAフィルター（0.12ミクロン捕集）付。
- 本体部で腐食が発生しない。（ステンレス316または、表面アルマイト処理）
- 排気風速が1.5m以下であること。
- 排気温度が24°C以下。（20ｃｍ離れた位置で測定）
- プレフィルターが腐食しない材質であること。（テフロン・グラスウール）
- キャスターは発じん性のないもので、グレーチング床に対応しているもの。（グレーチングの穴にはまらないもの）
- 静電対策仕様。
- 毒性物質の廃棄ができるダストバッグが取り付けできること。
クラス100以上で使用できるクリーナー
- 排気側にHEPAフィルター（0.3ミクロン捕集）付。
- 本体部で腐食が発生しない。（ステンレス316または、表面アルマイト処理）
- 排気風速が1.5m以下であること。
- 排気温度が24°C以下。（20ｃｍ離れた位置で測定）
フィルターの種類
- HEPAフィルター:0.3ミクロン単位の超微粒粉じんを99.97％捕集します。
- ULPAフィルター:0.12ミクロン単位の超微粒粉じんを99.999％捕集します。濾過システムの最終ステージで、人体に有害な物質、あるいは製品に悪影響をおよぼす物質の除去に効果を発揮します。
- 吸引したい粉じんの大きさ（何ミクロン）を確認してください。
- 使用するクリーンルームの清浄度クラスを確認してください。
- フィルターの種類を確認してください。（HEPAまたはULPA）
- タンクの容量（L）を確認してください。
ココミテvol.2より転載