| 特長: | ●アンプ内蔵・光学式の漏液センサ→ 吸紙や電極を使わず、液体の有無を光学的に検出。感度調整不要で安定検出。
●メンテナンスフリー/復旧が簡単→ 漏液後は検出面を拭き取るだけで復旧可能。ダウンタイムを短縮。
●薄型・省スペース→ 厚み約10mmで装置内の狭所に設置しやすい。
●視認性の高い表示灯→ 正常時/異常時をLEDで確認可能。 |
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| 用途: | ●半導体・液晶製造装置(前工程)の薬液漏れ検知→ 酸・アルカリ・有機溶剤の漏れを早期に検出し装置保護。
●冷却水・循環水の漏れ監視→ 漏れによる装置停止や品質不良を防止。
●装置底部・配管下の漏液検知→ 狭所・局所での確実な漏れ検出。 |
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| 注意: | ※写真は代表画像です |
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| 材質: | コード：PFA被覆 |
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| 材質(本体): | PFA |
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| 質量(g): | 約55 |
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| 種類: | 漏液センサ |
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| 使用温度範囲(℃): | -25～50(水結なきこと) |
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| 保護構造: | IP67(IEC規格) |
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| 耐電圧: | AC1000V 50/60Hz 1分間 充電部一括とケース間 |
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| 検出方式: | 反射形 |
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| 接続方式: | プリワイヤ コード2m |
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| 出力形態: | PNPオープンコレクタ |
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| 電源電圧(V): | DC10.8～26.4(リップル10%以下) |
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| 光源: | 赤外LED(ピーク発光波長940nm) |
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| 制御出力: | 開閉電流：50mA以下(抵抗負荷)、出力耐電圧：DC30V、残留電圧：1V以下(開閉電流50mA時) |
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| 消費電流(mA): | 30以下 |
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| 絶縁抵抗(MΩ): | 20(DC500Vにて) |
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| 保護回路: | 電源逆接続保護回路付き、電源投入時誤動作防止回路付き約(20ms)、出力短絡保護回路 |
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| 保存温度範囲(℃): | -40～70(水結なきこと) |
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| 材質(検出面): | 塩ビ板、ステンレス鋼板 |
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| 耐衝撃(m/s<sup>2</sup>): | 500 X・Y・Z各方向 3回 |
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| 表示灯: | 正常時：緑色点灯、漏液検出時：オレンジ点灯 |
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| 耐振動: | 10～55Hz 複振幅1.5mm X・Y・Z各方向 2時間 |
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| 材質(ブラケット): | PVC |
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| 標準検出物体: | 水 |
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| 関連資料: |  寸法、仕様情報(7.24MB) |
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| 動作形態: | 正常時オン、漏液検出時オフ |
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| 使用湿度範囲(%RH): | 30～85(結露のないこと) |
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寸法、仕様情報(7.24MB)