- 用途
- ●半導体・液晶製造装置(前工程)の薬液漏れ検知→ 酸・アルカリ・有機溶剤の漏れを早期に検出し装置保護。
●冷却水・循環水の漏れ監視→ 漏れによる装置停止や品質不良を防止。
●装置底部・配管下の漏液検知→ 狭所・局所での確実な漏れ検出。
- 材質
- コード：PFA被覆
- 材質(本体)
- PFA
- 質量(g)
- 約55
- 種類
- 漏液センサ
- 使用温度範囲(℃)
- -25～50(水結なきこと)
- 保護構造
- IP67(IEC規格)
- 耐電圧
- AC1000V 50/60Hz 1分間 充電部一括とケース間
- 検出方式
- 反射形
- 接続方式
- プリワイヤ コード2m
- 出力形態
- PNPオープンコレクタ
- 電源電圧(V)
- DC10.8～26.4(リップル10%以下)
- 光源
- 赤外LED(ピーク発光波長940nm)
- 制御出力
- 開閉電流：50mA以下(抵抗負荷)、出力耐電圧：DC30V、残留電圧：1V以下(開閉電流50mA時)
- 消費電流(mA)
- 30以下
- 絶縁抵抗(MΩ)
- 20(DC500Vにて)
- 保護回路
- 電源逆接続保護回路付き、電源投入時誤動作防止回路付き約(20ms)、出力短絡保護回路
- 保存温度範囲(℃)
- -40～70(水結なきこと)
- 材質(検出面)
- 塩ビ板、ステンレス鋼板
- 耐衝撃(m/s2)
- 500 X・Y・Z各方向 3回
- 表示灯
- 正常時：緑色点灯、漏液検出時：オレンジ点灯
- 耐振動
- 10～55Hz 複振幅1.5mm X・Y・Z各方向 2時間
- 材質(ブラケット)
- PVC
- 標準検出物体
- 水
- 動作形態
- 正常時オン、漏液検出時オフ
- 使用湿度範囲(%RH)
- 30～85(結露のないこと)
