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| https://www.monotaro.com/p/2087/6408/ | 2026/07/02 21:58:57 |
 | ULVAC(アルバック) 電離真空計 |
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| 特長: | 異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。 コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能 ラインアップの充実：アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定 世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現 フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能 広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域(1×10+5～1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時) 正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時) |
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| 仕様: | ●適応マルチイオンゲージセンサ：SWT-25(NW25)●エミッション電流：2mA(1×10-2Pa以下)、10μA(1×10-2Pa以上)●DEGAS：エレクトロンボンバード方式、エミッション電流2mA、グリッド電圧約330V |
| オプション: | マルチイオンゲージセンサ：SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)、材質：フィラメント：Ir/Y2O2コート、その他：PtC-Mo、 SUS304、 W、 Kovar glass、 Kovar/Niメッキ ピラニゲージ：SWU10-R(従来品SPUも対応) ピラニゲージセンサ：SWP-16(NW16)、 SWP-25(NW25)、 SWP-R1/8(R1/8)、 SWP-P18(Φ18 pipe end)、 SWP-P15(Φ15 pipe end)、 SWP-CF16(ICF034)、材質：フィラメント-Pt、 その他-BS/Ni、 メッキ、 Ni、 半田 大気圧センサ：SAU(NW16) 材質：SUS316L ユニットケーブル：GUC-200P(SWU用)：0.5m、 1m、 2m、GUC-200A(SAU用)：0.5m、 1m、 2m ディスプレイユニット：1CH：ISG1 (DC24V電源使用) ディスプレイユニットケーブル：SH200～ディスプレイユニット間ケーブル2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m コネクタ：入出力コネクタ(D-sub15-soket(M2.6mmネジ)) |
| 測定範囲: | (Pa)1.0×10^-5～1.0×10^5 |
| 質量(g): | 約280(コントローラ)、80(測定子) |
| 使用温度範囲(℃): | 10～50 |
| 外形寸法(mm): | ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、コントローラ部/69×63×90(W×D×H) |
| 出力: | 測定値出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} |
| 使用温度範囲: | ST200-A(10～50℃) |
| 適合規格: | CE |
| 精度: | (測定)1.0×10^-4～3.0×10+0Pa：±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4～1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10^4～1.0×10^5Pa：±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4～1.0×10^4Pa：±10% 1.0×10^4～3.0×10^5Pa：±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード) |
| 端末仕様: | 対応：パソコン：Windows10 64bit 以降 スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC |
| 電源電圧(V): | DC20～28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下 |
| 保護等級: | IP30 |
| 入力信号: | 制御：FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理 |
| 測定範囲(Pa): | 1×10-5～1×105 |
| 表示器: | SWU10-R |
| 測定精度(%): | 1.0×10-4～1.0×10+4Pa：±10 1.0×10+4～1.0×10+5Pa：±20 |
| 表示LED: | POWER/ERROR： パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化) |
| 測定子: | 電離真空計測：ISG1 |
| ケーブル: | - |
| 外寸法(mm): | ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5 |
| 出力信号: | 制御：センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視 定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V |
| コネクタ: | 入出力：D-sub15ピン(M2.6ネジ) |
| モード: | ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード |
| 内容積(cm<sup>3</sup>): | 19(センサ) |
| 保管温度範囲(℃): | -20～65(非通電時、結露なきこと) |
| アズワン品番: | 3-6054-26 |
| 表示更新時間: | 60msec |
| 繰返し精度(%): | (N2)ST200単体モード：±2 |
| 接続センサー: | 接続可能センサ：マルチイオンゲージセンサ：1本 ピラニゲージSWU10-R：1本(オプション) |
| 耐圧(Pa): | センサ：2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要 |
| 湿度範囲(%): | 15～80(ただし、結露なきこと) |
| サンプリング周期(ms): | 60(5回の移動平均処理) |
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| 地域 | 単位 | 配送費 |
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