ULVAC(アルバック)

電離真空計

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測定範囲(Pa)1.0×10^-5～1.0×10^5

(Pa)1.0×10^-5～1.0×10^5

(Pa)1.0×10^-5～1.0×10^1

アズワン品番3-6054-26

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内容量1個注文コード20876408品番ST200-A(SWT-25+SWU10-R)&ISG1

参考基準価格(税別)￥355,200販売価格(税込)￥384,780

販売価格(税別)

￥349,800

異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実：アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域(1×10+5～1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)

オプション

マルチイオンゲージセンサ：SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)、材質：フィラメント：Ir/Y₂O₂コート、その他：PtC-Mo、 SUS304、 W、 Kovar glass、 Kovar/Niメッキ
ピラニゲージ：SWU10-R(従来品SPUも対応)
ピラニゲージセンサ：SWP-16(NW16)、 SWP-25(NW25)、 SWP-R1/8(R1/8)、 SWP-P18(Φ18 pipe end)、 SWP-P15(Φ15 pipe end)、 SWP-CF16(ICF034)、材質：フィラメント-Pt、その他-BS/Ni、メッキ、 Ni、半田
大気圧センサ：SAU(NW16) 材質：SUS316L
ユニットケーブル：GUC-200P(SWU用)：0.5m、 1m、 2m、GUC-200A(SAU用)：0.5m、 1m、 2m
ディスプレイユニット：1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
ディスプレイユニットケーブル：SH200～ディスプレイユニット間ケーブル2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
コネクタ：入出力コネクタ(D-sub15-soket(M2.6mmネジ))

端末仕様

対応：パソコン：Windows10 64bit 以降
スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC

測定精度(%)

1.0×10^-4～1.0×10⁺⁴Pa：±10
1.0×10⁺⁴～1.0×10⁺⁵Pa：±20

出力信号

制御：センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視
定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V

接続センサー

接続可能センサ：マルチイオンゲージセンサ：1本
ピラニゲージSWU10-R：1本(オプション)

仕様●適応マルチイオンゲージセンサ：SWT-25(NW25)●エミッション電流：2mA(1×10^-2Pa以下)、10μA(1×10^-2Pa以上)●DEGAS：エレクトロンボンバード方式、エミッション電流2mA、グリッド電圧約330V測定範囲(Pa)1.0×10^-5～1.0×10^5質量(g)約280(コントローラ)、80(測定子)使用温度範囲(℃)10～50外形寸法(mm)ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、コントローラ部/69×63×90(W×D×H)出力測定値出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}使用温度範囲ST200-A(10～50℃)適合規格CE精度(測定)1.0×10^-4～3.0×10+0Pa：±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4～1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10^4～1.0×10^5Pa：±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4～1.0×10^4Pa：±10% 1.0×10^4～3.0×10^5Pa：±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)電源電圧(V)DC20～28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下保護等級IP30入力信号制御：FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理測定範囲(Pa)1×10^-5～1×10⁵表示器SWU10-R表示LEDPOWER/ERROR：パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)測定子電離真空計測：ISG1ケーブル-外寸法(mm)ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5コネクタ入出力：D-sub15ピン(M2.6ネジ)モードST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード内容積(cm³)19(センサ)保管温度範囲(℃)-20～65(非通電時、結露なきこと)アズワン品番3-6054-26表示更新時間60msec繰返し精度(%)(N₂)ST200単体モード：±2耐圧(Pa)センサ：2×10⁵(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)