|
ストローク(X距離)(mm):
|
±5
|
|
ストローク(Y距離)(mm):
|
±5
|
|
種類:
|
xyステージ/傾斜ステージ
|
|
テーブル長さ(mm):
|
70
|
|
テーブル幅(mm):
|
70
|
|
耐荷重(N):
|
(水平)68.6
|
|
送り方式:
|
ボールねじ・リード1mm
|
|
移動ガイド:
|
XY:クロスローラ・θ:クロスローラベアリング
|
|
質量(kg):
|
2.25
|
|
材質(本体):
|
アルミ合金
|
|
モーター:
|
5相ステッピングモータ/PK523HPMB(オリエンタルモーター:定格電流0.75A/相,基本ステップ角0.36°,リード線5本)
|
|
分解能:
|
(フル/ハーフステップ)XY:1μm/0.5μm、θ: 0.001273°/0.000637°
|
|
仕上:
|
白色
|
|
センサー型式:
|
XY:F-115(HOME, LIMIT), θ:F-115R(HOME, LIMIT)
|
|
コネクタ:
|
丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
|
|
真直度(μm):
|
(水平)XY:≦ 1/10mm、(垂直)XY:≦ 1/10mm
|
|
繰返し精密度(μm):
|
XY:≦±0.5
|
|
RoHS指令(10物質対応):
|
対応
|
|
関連資料:
|
寸法図
|
|
結線:
|
V3
|
|
バックラッシュ:
|
XY:≦ 1μm、θ:≦ 0.005°
|
|
ロストモーション(mm):
|
XY:≦ 0.002
|
|
最高速度(mm/s):
|
XY:10mm/sec : Half 20kpps θ:12.7°/sec : Half 20kpps
|
|
移動量(°):
|
±5
|
|
ロストモーション(°):
|
θ:≦ 0.005
|
|
モーメント荷重(arcsec/N・cm):
|
0.3
|