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ストローク(X距離)(mm)：
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±5
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ストローク(Y距離)(mm)：
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±5
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種類：
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xyステージ/傾斜ステージ
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テーブル長さ(mm)：
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70
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テーブル幅(mm)：
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70
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耐荷重(N)：
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(水平)68.6
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送り方式：
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ボールねじ・リード1mm
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移動ガイド：
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XY：クロスローラ・θ：クロスローラベアリング
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質量(kg)：
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2.25
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材質(本体)：
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アルミ合金
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モーター：
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5相ステッピングモータ/PK523HPMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
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分解能：
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(フル/ハーフステップ)XY：1μm/0.5μm、θ： 0.001273°/0.000637°
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仕上：
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白色
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センサー型式：
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XY：F-115(HOME， LIMIT)， θ：F-115R(HOME， LIMIT)
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コネクタ：
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丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)
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真直度(μm)：
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(水平)XY：≦ 1/10mm、(垂直)XY：≦ 1/10mm
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繰返し精密度(μm)：
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XY：≦±0.5
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RoHS指令(10物質対応)：
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対応
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関連資料：
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 寸法図
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結線：
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V3
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バックラッシュ：
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XY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°
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ロストモーション(mm)：
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XY：≦ 0.002
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最高速度(mm/s)：
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XY：10mm/sec ： Half 20kpps θ：12.7°/sec ： Half 20kpps
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移動量(°)：
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±5
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ロストモーション(°)：
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θ：≦ 0.005
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モーメント荷重(arcsec/N・cm)：
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0.3
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寸法図
