- ストローク(X距離)(mm)
- ±5
- ストローク(Y距離)(mm)
- ±5
- 種類
- xyステージ/傾斜ステージ
- テーブル長さ(mm)
- 70
- テーブル幅(mm)
- 70
- 耐荷重(N)
- (水平)68.6
- 送り方式
- ボールねじ・リード1mm
- 移動ガイド
- XY：クロスローラ・θ：クロスローラベアリング
- 質量(kg)
- 2.25
- 材質(本体)
- アルミ合金
- モーター
- 5相ステッピングモータ/PK523HPMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
- 分解能
- (フル/ハーフステップ)XY：1μm/0.5μm、θ： 0.001273°/0.000637°
- 仕上
- 白色
- センサー型式
- XY：F-115(HOME， LIMIT)， θ：F-115R(HOME， LIMIT)
- コネクタ
- 丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)
- 真直度(μm)
- (水平)XY：≦ 1/10mm、(垂直)XY：≦ 1/10mm
- 繰返し精密度(μm)
- XY：≦±0.5
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 結線
- V3
- バックラッシュ
- XY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°
- ロストモーション(mm)
- XY：≦ 0.002
- 最高速度(mm/s)
- XY：10mm/sec ： Half 20kpps θ：12.7°/sec ： Half 20kpps
- 移動量(°)
- ±5
- ロストモーション(°)
- θ：≦ 0.005
- モーメント荷重(arcsec/N・cm)
- 0.3
