| ストローク(X距離)(mm): | ±5 |
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| ストローク(Y距離)(mm): | ±5 |
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| 種類: | xyステージ/傾斜ステージ |
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| テーブル長さ(mm): | 210 |
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| テーブル幅(mm): | 150 |
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| 耐荷重(N): | (水平)343 |
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| 送り方式: | ボールねじ・リード1mm |
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| 移動ガイド: | XY：リニアガイド・θ：クロスローラベアリング |
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| 質量(kg): | 5.15 |
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| 材質(本体): | アルミ合金 |
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| モーター: | 5相ステッピングモータ/PK523HPMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本) |
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| 分解能: | (フル/ハーフステップ)XY：1μm/0.5μm、θ： 0.000498°/0.000249° |
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| 仕上: | 白色 |
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| センサー型式: | XY：F-115(HOME， LIMIT)， θ：F-115R(HOME， LIMIT) |
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| コネクタ: | 丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC) |
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| 真直度(μm): | (水平)XY：≦3/10mm、(垂直)XY：≦3/10mm |
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| 繰返し精密度(μm): | XY：≦±0.5 |
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| RoHS指令(10物質対応): | 対応 |
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| 関連資料: |  寸法図 |
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| 結線: | V3 |
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| バックラッシュ: | XY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005° |
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| ロストモーション(mm): | XY：≦ 0.002 |
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| 最高速度(mm/s): | XY：10mm/sec ： Half 20kpps θ：4.98°/sec ： Half 20kpps |
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| 移動量(°): | ±5 |
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| ロストモーション(°): | θ：≦ 0.005 |
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| モーメント荷重(arcsec/N・cm): | X方向： 0.03・ Y方向： 0.05 |
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寸法図