ストローク(X距離)(mm)±5ストローク(Y距離)(mm)±5種類xyステージ/傾斜ステージテーブル長さ(mm)210テーブル幅(mm)150耐荷重(N)(水平)343送り方式ボールねじ・リード1mm移動ガイドXY：リニアガイド・θ：クロスローラベアリング質量(kg)5.15材質(本体)アルミ合金モーター5相ステッピングモータ/PK523HPMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)XY：1μm/0.5μm、θ： 0.000498°/0.000249°仕上白色センサー型式XY：F-115(HOME， LIMIT)， θ：F-115R(HOME， LIMIT)コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)真直度(μm)(水平)XY：≦3/10mm、(垂直)XY：≦3/10mm繰返し精密度(μm)XY：≦±0.5RoHS指令(10物質対応)対応結線V3バックラッシュXY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002最高速度(mm/s)XY：10mm/sec ： Half 20kpps θ：4.98°/sec ： Half 20kpps移動量(°)±5ロストモーション(°)θ：≦ 0.005モーメント荷重(arcsec/N・cm)X方向： 0.03・ Y方向： 0.05
