 | |
| https://www.monotaro.com/p/5212/8196/ | 2026/06/08 01:53:54 |
 ※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください) | SMC アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-80 |
|
|
| 特長: | 電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能 |
|---|---|
| フランジサイズ: | 80 |
| 材質(シール): | FKM |
| 温度範囲(℃): | 5～60 |
| 仕様: | 【使用圧力】1×10-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く |
| 材質: | 本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材) |
| 接続口径: | 【パイロットポート】Rc1/8 |
| 質量(kg): | 5.1 |
| フランジ: | 80 |
| フランジタイプ: | KF(NW) |
| 表面処理: | 外部：硬質アルマイト、内部：素地 |
| 使用流体: | 不活性ガス系の真空 |
| 弁形式: | 常時閉(加圧開・スプリングシール) |
| オートスイッチ個数: | 1ケ付 |
| インジケータ: | なし |
| パイロット圧力(MPa[kgf/cm<sup>2</sup>]): | 0.4～0.7 |
| オートスイッチ種類: | D-A93L |
| パイロットポート方向: | フランジ側 |
| 表面処理(ボディ): | 外部:硬質アルマイト、内部:素地 |
| インジケータおよび操作ポート方向: | インジケータなし、フランジ側 |
| 温度仕様/ヒータの有無: | 5～60℃、ヒータなし |
| Copyright 2000-2026 MonotaRO Co.,Ltd. All Rights Reserved. 株式会社MonotaRO（ものたろう） |