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XLA-80-2A93LB アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-80 SMC 52128196

※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください)

XLA-80-2A93LB アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-80 SMC 52128196
XLA-80-2A93LB アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-80 SMC 52128196

アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-80

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内容量
1個
注文コード
52128196
品番
XLA-80-2A93LB
参考基準価格(税別)¥171,330販売価格(税込)¥186,780
販売価格(税別)
169,800

電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能

フランジサイズ
80
材質(シール)
FKM
温度範囲(℃)
5~60
仕様
【使用圧力】1×10-6~大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部:標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く/外部:標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
材質
本体:アルミ合金、ベローズ:SUS316L、要部:ステンレス、FKM(標準シール材)
接続口径
【パイロットポート】Rc1/8
質量(kg)
5.1
フランジ
80
フランジタイプ
KF(NW)
表面処理
外部:硬質アルマイト、内部:素地
使用流体
不活性ガス系の真空
弁形式
常時閉(加圧開・スプリングシール)
オートスイッチ個数
1ケ付
インジケータ
なし
パイロット圧力(MPa[kgf/cm2])
0.4~0.7
オートスイッチ種類
D-A93L
パイロットポート方向
フランジ側
表面処理(ボディ)
外部:硬質アルマイト、内部:素地
インジケータおよび操作ポート方向
インジケータなし、フランジ側
温度仕様/ヒータの有無
5~60℃、ヒータなし
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