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管接続口径：
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(IN側)Rc1/4、(OUT側)Rc1/4
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ねじの種類：
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R
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ろ過度(μm)：
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0.01(除去効率99.99%)
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特長：
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フィルタエレメントに中空糸膜を採用したインライン形クリーンフィルタ(ステンレスボディ)です。
独自の中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現しました。
中空糸膜のため、平膜式と比べ、寿命は約5倍アップと長寿命です。
同一容積の平膜式に比べ、3〜10倍のろ過面積があり、大流量で低圧損です。同一流量なら小形・軽量化が可能です。
禁油仕様です。部品はすべて脱脂洗浄を実施し、組立から包装までをクリーンルーム内で一貫生産しています。
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用途：
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クリーンエア供給用フィルタとして。イオナイザーへのクリーンエア供給用に。液晶基板など非接触搬送時のクリーンエア供給用に。吸着搬送、真空破壊時のエアクリーン化。
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仕様：
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構造：ステンレス材料使用/処理：禁油処理 材質制限：なし
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注意：
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※アブソリュートフィルタ(絶対ろ過度)としては使えません。異物を極端に嫌う用途(ウェハーへの直接ブローなど)には使用しないでください。
※一次圧力0.7MPa、圧力降下0.03MPa時の初期流量です。
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質量(g)：
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100
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使用圧力(MPa)：
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-0.095〜1.5(圧縮空気)、-0.095〜0.99(窒素ガス)
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材質(ケース)：
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ステンレス
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使用流体：
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圧縮空気、窒素ガス(N2)
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材質(ボディ)：
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ステンレス
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耐圧力(MPa)：
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2.25(圧縮空気)、1.5(窒素ガス)
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周囲温度および使用流体温度(℃)：
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5〜45
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材質(エレメント)：
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ポリプロピレン+ウレタン
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特性：
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(組立・検査・包装)クリーンルームにて一貫生産
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耐差圧(MPa)：
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0.5
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処理流量(L/min[ANR])：
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80
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洗浄：
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脱脂洗浄
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