用途クリーンエア供給用フィルタとして。イオナイザーへのクリーンエア供給用に。液晶基板など非接触搬送時のクリーンエア供給用に。吸着搬送、真空破壊時のエアクリーン化。管接続口径(IN側)Rc1/4、(OUT側)Rc1/4ねじの種類Rろ過度(μm)0.01(除去効率99.99%)仕様構造:ステンレス材料使用/処理:禁油処理 材質制限:なし質量(g)100使用圧力(MPa)-0.095~1.5(圧縮空気)、-0.095~0.99(窒素ガス)材質(ケース)ステンレス使用流体圧縮空気、窒素ガス(N2)材質(ボディ)ステンレス耐圧力(MPa)2.25(圧縮空気)、1.5(窒素ガス)周囲温度および使用流体温度(℃)5~45材質(エレメント)ポリプロピレン+ウレタン特性(組立・検査・包装)クリーンルームにて一貫生産耐差圧(MPa)0.5処理流量(L/min[ANR])80洗浄脱脂洗浄