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仕様：
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【<真空仕様自動回転ステージ>共通仕様】モータタイプ:VSGSP-60YAW：真空仕様5相ステッピングモーター 0.66A/相(多摩川精機(株))、VSGSP-120YAW：真空仕様5相ステッピングモーター 0.75A/相(オリエンタルモーター(株))、モータ品番：VSGSP-60YAW：TS3664N5(□24mm)、VSGSP-120YAW：PK543V-NB(□42mm)、モータステップ角度：0.72°、センサ電源電圧：VSGSP-60YAW：-、VSGSP-120YAW：DC5〜24V、センサ消費電力：VSGSP-60YAW：-、VSGSP-120YAW：消費電流 10mA(Max 20mA)、センサ制御出力：VSGSP-60YAW：接点式、VSGSP-120YAW：メカニカル、センサ出力論理：NORMAL OPEN、適応ドライバ：SG-5M、SG-55M、SG-514MSC、MC-7514PCL、適応コントローラ：GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04、【個別仕様】回転範囲:CW、CCW方向∞、テーブル面サイズ：Φ60mm、移動機構：ウォーム ウォームホイール、移動ガイド：ベアリング方式、ステージ材質：アルミ、表面処理：無、質量：0.45kg、分解能/(Full)：0.005°/パルス、分解能(Half)：0.0025°/パルス、MAXスピード：20°/sec、繰り返し位置決め精度：0.02°、耐荷重：29.4N(3.0kgf)、ロストモーション：0.05°、センサ種類：無、リミットセンサ：無、原点センサ：無、近接原点センサ：無
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