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VSGSP-60YAW 真空仕様自動回転ステージ VSGSPシリーズ シグマ光機 83985486

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真空仕様自動回転ステージ VSGSPシリーズ

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内容量1個仕様【<真空仕様自動回転ステージ>共通仕様】モータタイプ:VSGSP-60YAW:真空仕様5相ステッピングモーター 0.66A/相(多摩川精機(株))、VSGSP-120YAW:真空仕様5相ステッピングモーター 0.75A/相(オリエンタルモーター(株))、モータ品番:VSGSP-60YAW:TS3664N5(□24mm)、VSGSP-120YAW:PK543V-NB(□42mm)、モータステップ角度:0.72°、センサ電源電圧:VSGSP-60YAW:-、VSGSP-120YAW:DC5~24V、センサ消費電力:VSGSP-60YAW:-、VSGSP-120YAW:消費電流 10mA(Max 20mA)、センサ制御出力:VSGSP-60YAW:接点式、VSGSP-120YAW:メカニカル、センサ出力論理:NORMAL OPEN、適応ドライバ:SG-5M、SG-55M、SG-514MSC、MC-7514PCL、適応コントローラ:GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04、【個別仕様】回転範囲:CW、CCW方向∞、テーブル面サイズ:Φ60mm、移動機構:ウォーム ウォームホイール、移動ガイド:ベアリング方式、ステージ材質:アルミ、表面処理:無、質量:0.45kg、分解能/(Full):0.005°/パルス、分解能(Half):0.0025°/パルス、MAXスピード:20°/sec、繰り返し位置決め精度:0.02°、耐荷重:29.4N(3.0kgf)、ロストモーション:0.05°、センサ種類:無、リミットセンサ:無、原点センサ:無、近接原点センサ:無注文コード83985486品番VSGSP-60YAW
参考基準価格(税別)¥576,000販売価格(税込)¥626,780
販売価格(税別)
569,800

真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
Φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。真空モータ部、真空リミットスイッチ部からチャンバのコネクタ部へ直接接続するために1mのテフロンコーティングケーブルが付いています。

仕様【<真空仕様自動回転ステージ>共通仕様】モータタイプ:VSGSP-60YAW:真空仕様5相ステッピングモーター 0.66A/相(多摩川精機(株))、VSGSP-120YAW:真空仕様5相ステッピングモーター 0.75A/相(オリエンタルモーター(株))、モータ品番:VSGSP-60YAW:TS3664N5(□24mm)、VSGSP-120YAW:PK543V-NB(□42mm)、モータステップ角度:0.72°、センサ電源電圧:VSGSP-60YAW:-、VSGSP-120YAW:DC5~24V、センサ消費電力:VSGSP-60YAW:-、VSGSP-120YAW:消費電流 10mA(Max 20mA)、センサ制御出力:VSGSP-60YAW:接点式、VSGSP-120YAW:メカニカル、センサ出力論理:NORMAL OPEN、適応ドライバ:SG-5M、SG-55M、SG-514MSC、MC-7514PCL、適応コントローラ:GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04、【個別仕様】回転範囲:CW、CCW方向∞、テーブル面サイズ:Φ60mm、移動機構:ウォーム ウォームホイール、移動ガイド:ベアリング方式、ステージ材質:アルミ、表面処理:無、質量:0.45kg、分解能/(Full):0.005°/パルス、分解能(Half):0.0025°/パルス、MAXスピード:20°/sec、繰り返し位置決め精度:0.02°、耐荷重:29.4N(3.0kgf)、ロストモーション:0.05°、センサ種類:無、リミットセンサ:無、原点センサ:無、近接原点センサ:無アズワン品番61-6985-62
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