| テーブル長さ(mm): | 130 |
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| テーブル幅(mm): | 130 |
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| 耐荷重(N): | 196(20kgf) |
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| 送り方式: | ボールネジ |
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| リード(mm): | 1 |
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| 移動ガイド: | XY：精密クロスローラガイド、θ：クロスローラベアリング |
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| 有効移動範囲(mm): | XY：±5 |
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| 移動量(°): | θ：±5 |
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| 分解能(μm): | XY:1/0.5(フル/ハーフ) |
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| 分解能: | θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ) |
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| 最高速度(mm/s): | XY：10 : Half 20kpps |
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| 最高速度(°/s): | θ：6.74 : Half 20kpps |
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| ロストモーション(mm): | XY：≦ 0.002 |
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| ロストモーション(°): | θ：≦ 0.005 |
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| 真直度(μm): | [水平/垂直]XY:≦ 1 |
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| 繰返し精度(μm): | XY：≦±0.5(位置決め) |
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| 再現性(度): | θ：≦ 0.001 |
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| バックラッシュ: | XY：≦ 1μm θ：≦ 0.005° |
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| 振れ(μm): | θ：≦5/±5° |
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| 偏心: | θ：≦3μm/±5° |
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| モーメント荷重(arcsec/N・cm): | XY：0.1 |
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| 自重(kg): | 4.5 |
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| 使用モータ: | PK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通) |
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| コネクタ形状: | 丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通) |
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| タイプ: | ステージ結線:V3(3軸共通) |
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| センサー型式: | XYθ:F-115(HOME、 LIMIT) |
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