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テーブル長さ(mm)：
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130
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テーブル幅(mm)：
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130
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耐荷重(N)：
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196(20kgf)
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送り方式：
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ボールネジ
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リード(mm)：
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1
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移動ガイド：
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XY：精密クロスローラガイド、θ：クロスローラベアリング
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有効移動範囲(mm)：
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XY：±5
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移動量(°)：
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θ：±5
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分解能(μm)：
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XY:1/0.5(フル/ハーフ)
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分解能：
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θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ)
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最高速度(mm/s)：
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XY：10 : Half 20kpps
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最高速度(°/s)：
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θ：6.74 : Half 20kpps
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ロストモーション(mm)：
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XY：≦ 0.002
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ロストモーション(°)：
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θ：≦ 0.005
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真直度(μm)：
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[水平/垂直]XY:≦ 1
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繰返し精度(μm)：
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XY：≦±0.5(位置決め)
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再現性(度)：
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θ：≦ 0.001
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バックラッシュ：
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XY：≦ 1μm θ：≦ 0.005°
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振れ(μm)：
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θ：≦5/±5°
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偏心：
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θ：≦3μm/±5°
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モーメント荷重(arcsec/N・cm)：
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XY：0.1
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自重(kg)：
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4.5
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使用モータ：
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PK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通)
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コネクタ形状：
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丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通)
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タイプ：
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ステージ結線:V3(3軸共通)
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センサー型式：
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XYθ:F-115(HOME、 LIMIT)
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