- タイプ
- ステージ結線:V3(3軸共通)
- コネクタ形状
- 丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通)
- 分解能(μm)
- XY:1/0.5(フル/ハーフ)
- 分解能
- θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ)
- 有効移動範囲(mm)
- XY：±5
- センサー型式
- XYθ:F-115(HOME、 LIMIT)
- 繰返し精度(μm)
- XY：≦±0.5(位置決め)
- 真直度(μm)
- [水平/垂直]XY:≦ 1
- リード(mm)
- 1
- 偏心
- θ：≦3μm/±5°
- 自重(kg)
- 4.5
- 耐荷重(N)
- 196(20kgf)
- 送り方式
- ボールネジ
- 移動ガイド
- XY：精密クロスローラガイド、θ：クロスローラベアリング
- バックラッシュ
- XY：≦ 1μm θ：≦ 0.005°
- 使用モータ
- PK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通)
- ロストモーション(mm)
- XY：≦ 0.002
- 最高速度(mm/s)
- XY：10 : Half 20kpps
- 移動量(°)
- θ：±5
- ロストモーション(°)
- θ：≦ 0.005
- 最高速度(°/s)
- θ：6.74 : Half 20kpps
- 振れ(μm)
- θ：≦5/±5°
- テーブル幅(mm)
- 130
- テーブル長さ(mm)
- 130
- モーメント荷重(arcsec/N・cm)
- XY：0.1
- 再現性(度)
- θ：≦ 0.001
