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出力：
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A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力 (EIA-422に準拠)
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分解能(μm)：
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0.1
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測定範囲(mm)：
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12
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精度(μm)：
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1p-p
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測定力(N)：
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上方位：0.4±0.3・0.6±0.5(空気圧押出しタイプ)、横方位：0.5±0.3・0.7±0.5(空気圧押出しタイプ)、下方位：0.6±0.3・0.8±0.5(空気圧押出しタイプ)※空気圧：0.055MPaの時
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最大応答速度(m/min)：
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80
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耐振動(m/s2)：
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100(20〜2000Hz)
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耐衝撃(m/s2)：
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1000(11ms)
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保護等級：
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ストレートタイプ：IP67、ライトアングルタイプ：IP64 (IP67 ※)
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使用温度範囲(℃)：
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0〜50(結露無き事)
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電源電圧(V)：
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DC5±5%
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消費電力(W)：
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1
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ケーブル長(m)：
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2.5(出力)
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質量(g)：
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約30
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測定子：
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超硬合金球面付 取付ねじM2.5
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付属品：
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取扱説明書、+P M4×5ねじ2本、締付けナット、クランプスパナ、ウェーブワッシャ、取付用ピン各1個、ホースエルボ1個、スパナ1個
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駆動方式：
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【スピンドル】バネ押出し/真空引き込み
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保存温湿度範囲：
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-20〜60℃/90%RH以下
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仕様：
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【原点位置】スピンドル移動1mm±0.5mmの位置
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