出力A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力 (EIA-422に準拠)分解能(μm)0.1測定範囲(mm)12精度(μm)1p-p測定力(N)上方位：0.4±0.3・0.6±0.5(空気圧押出しタイプ)、横方位：0.5±0.3・0.7±0.5(空気圧押出しタイプ)、下方位：0.6±0.3・0.8±0.5(空気圧押出しタイプ)※空気圧：0.055MPaの時最大応答速度(m/min)80耐振動(m/s2)100(20～2000Hz)耐衝撃(m/s2)1000(11ms)保護等級ストレートタイプ：IP67、ライトアングルタイプ：IP64 (IP67 ※)使用温度範囲(℃)0～50(結露無き事)電源電圧(V)DC5±5%消費電力(W)1ケーブル長(m)2.5(出力)質量(g)約30測定子超硬合金球面付 取付ねじM2.5付属品取扱説明書、+P M4×5ねじ2本、締付けナット、クランプスパナ、ウェーブワッシャ、取付用ピン各1個、ホースエルボ1個、スパナ1個駆動方式【スピンドル】バネ押出し/真空引き込み保存温湿度範囲-20～60℃/90%RH以下仕様【原点位置】スピンドル移動1mm±0.5mmの位置
