4点表示・真空内温度測定対応シール プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)従来タイプのような、カプトンテープの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮 (従来の441シリーズの1/3)貼り付け精度向上ラベルの端から示温素子中心まで2mm。ウエハー・エッジの温度を測る事が出来る すべてのレンジにカプトンフィルム使用