PTFEダイアフラム型ドライ真空ポンプ

真空室内にPTFE系部品を採用しており、有機溶媒系ガスや腐食性ガスの吸引などに抜群の耐食性を発揮します。
油を使わないドライタイプのため、吸気側へのオイルバックが発生しません。また、排気側からのオイルミストにより室内環境が汚染されることもありません。
油を使用しないためメンテナンスが簡単です。
低振動・低騒音タイプです。