用途小形真空ポンプの元圧制御に
真空弁と吸着パッドの間に入れ個々のパッドの圧力制御に
電源電圧(V)(圧力センサ部)DC12~24V±10%
リップル(P-P)±10%以下
形状ユニオンタイプ質量(g)190使用温度(℃)(レギュレータ部)0~50(但し、凍結なきこと)ブラケットあり(ブラケット形番:VSRVV-B)最大吸込流量(L/min)(レギュレータ部)30使用流体空気繰返し性(圧力センサ部)±0.2%F.S. ±1digit温度特性(圧力センサ部)±2.5%F.S.以下(0~50℃、at25℃)耐圧力(kPa)(圧力センサ部)300RoHS指令(10物質対応)対応設定圧力(kPa)(レギュレータ部)-100~-1.3圧力表示デジタル圧力表示付(NPN_SW2点+コピー機能)使用圧力(kPa)(レギュレータ部/圧力センサ部)-100~100接続サイズΦ6ワンタッチ継手