接液部の内層は高純度PFAを使用し、半導体配管用途での高い基本特性(純粋性・耐薬品性・非粘着性・耐熱性)を備えています。
内層にはフッ素ポリマーPFAを、外層にはバリア性フッ素ポリマーを使用しています。
バリア性フッ素ポリマーは、酸(塩酸・硝酸等)・アンモニアのバリア性に優れます。
従来のPFAチューブ配管に比べ酸の透過を抑制します。
周辺環境への悪影響を低減します。
長期にわたり流体の透視性を維持できます。
従来のPFAチューブと同等の機械特性を有しています。
バリア性に優れるフッ素ポリマーチューブです。
