- 質量(kg)
- 1.6
- 接続
- 入口：W22-14山(右)袋ナット(P)、出口：Rc1/4
- 一次側圧力(MPa)
- 2～20，40(最高使用圧力20)
- 二次側圧力(MPa)
- 1.0(最高使用圧力0.66)
- 標準流量(L/min)
- 320(P1=15MPa、P2=0.99MPa)
- 材質
- 本体：C3604B/ダイアフラム：SUS304/弁材：PCTFE/シートパッキン：PCTFE/その他：C3604B、NBR、PTFE、SUS303
- 材質(本体)
- 真鍮(C3604B)
- タイプ
- フィルタ粗さ：600メッシュ
- 取付方式
- 本体取付
- 最大流量(L/min)
- 400(P1=15MPa、P2=0.99MPa)
- 最大流量
- 400 (P1=15MPa ， P2=0.99MPa)
- 使用温度(℃)
- -10～40
- 使用ガス
- O2(酸素)、N2(窒素)、Ar(アルゴン)、Air(空気)、H2(水素)、He(ヘリウム)、Xe(キセノン)、Kr(クリプトン)、Ne(ネオン)、SF6(六フッ化硫黄)、C3H6(シクロプロパン混合ガス)、CH2=C=CH2(プロパジエン混合ガス)、CCl3F(フロン11混合ガス)、CHCl2F(フロン21混合ガス)、CHF3(フロン23混合ガス)、C6H14(ヘキサン混合ガス)、C6H12(ヘキセン混合ガス)、n-，l-，neo-(ペンタン混合ガス)、CH3C=CH(メチルアセチレン混合ガス)
- 標準流量
- 320 (P1=15MPa ， P2=0.99MPa)
- 流れ方向
- 右高圧
- 圧力(MPa)
- 三次側/0.2～0.99
