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マイクロメーター式ハンドル付微量流量調整用バルブ最高使用圧力：4.82MPa微量流量調節型ディスク。マイクロメーター式ハンドルにより、繰り返し正確な微量流量設定が可能。精密な成形メタルベローズによるシール構造で外部シール性能が高い。6回転のハンドル操作でバルブが全開。スロット付ハンドルトップにより、マイナスドライバーによる調節可能。ボディとベローズの間をステンレス鋼製ガスケットによりシール。パネル取り付けまたはボディ底部取付けが可能。接続形式：V-Lokタイプ。外部リーク・加圧試験に加えて、ヘリウムリーク試験を実施。・漏洩量が4.0×10 ┣sup┫-10┣/sup┫・3┣sup┫3┣/sup┫/sec以下(真空法)であることを確認しています。(検査時)全閉時流量・全閉時、0.068MPaの窒素ガスで10～15m┣sup┫3┣/sup┫/min(normal)が流れるように設定をしています。(出荷時)