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容積が最小、真空システムのハイサイクル化が要求される分野で非常に有効な真空用フィルタ。 より狭い場所への設置可能に。 エレメントサイズ(濾過面積)を2種類用意。 塵の量やエレメントの交換時期などによって、2種類から選択可能に。 IN側、OUT側の接続形状は、ワンタッチ継手とメネジタイプから選定可能。 様々な商品と組合せが可能で、特に省スペース化を図ることができるミニマル継手との組合せも可能に。 銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」向けの分野に対応するVFU1， 2， 3タイプ。 金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム材質にはHNBRを採用。

配管途中に簡単に取り付けられる真空用フィルターです。配管抵抗が小さく、安定しています。配管途中に簡単に取付けられる真空用フィルタです。配管抵抗が小さく、安定しています。

コンパクトなインラインタイプ真空用フィルタです。

配管途中に簡単に取付けられ、しかも配管抵抗が小さく、安定しています。 銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」向けの分野に対応するVFU1， 2， 3タイプ。 金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム材質にはHNBRを採用。