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最薄ホットプレート最高温度150℃高精度・50mm超小型タイプです。専用温度コントローラーは多点PID機能(各温度域でPIDパラメータ自動切替え)、室温から最高温度まで高精度制御を導入当日よりご使用いただけます。(出荷時PID設定済み)

最高温度400℃対応の真空ホットプレートチャンバーです。観察窓によりワークの状態が視認できます。金属、ウェハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での高速昇温加熱プロセスに適します。