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空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可) 流量20%UP(サイズ1の場合) 高さ寸法10%Down(サイズ1の場合) 質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合) ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。 マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23

流量20%UP(サイズ1の場合) 高さ寸法10%Down(サイズ1の場合) 質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合) ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。 マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23

・小型で最大出力16点 ・多種の通信ネットワークに対応

・排気圧を利用して漏れた潤滑油や作動油を回収・再利用。 ・切換弁から大気に放出されるだけの排出空気を利用して回収を行い、 省エネルギーを実現。 ・人手による回収や手拭き作業がなくなり合理化。

・高価な切削油・研削油の漏洩液を回収。 ・人手による漏洩液の回収作業が不要。 ・既設装置のポンプをそのまま利用でき、特別な動力不要。

・電気信号で流量や圧力を無段階制御。 ・プレスダイクッション、溶接機・低圧鋳造の加圧力制御エアシリンダの 多段速度制御やエアモータの回転制御。

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

・空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可) ・流量20%UP(サイズ1の場合) ・高さ寸法10%Down(サイズ1の場合) ・質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合) ・ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS ・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。 ・マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・高価な切削油・研削油の漏洩液を回収。 ・人手による漏洩液の回収作業が不要。 ・既設装置のポンプをそのまま利用でき、特別な動力不要。

・空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可) ・流量20%UP(サイズ1の場合) ・高さ寸法10%Down(サイズ1の場合) ・質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合) ・ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS ・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。 ・マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 省エネエジェクタ 真空到達時供給エアカット：空気消費量93%削減(メーカー測定条件による) エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) 省エネ効果(金額換算)：93%削減 高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上 供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用

・ロッドタイプ ・小型・軽量 W20.5mm×H30mm×L125.6mm、質量240g ・最大押当て推力：50N ・繰返し位置決め精度：±0.05mm ・位置・速度・推力の設定(64点) ・最大速度 (水平)：350mm/s ・対応コントローラ：LECP6，LECP1，LECPA，LECPMJ

・スライドテーブルタイプ ・小型・軽量 W20.5mm×H30mm×L125.6mm、質量240g ・最大押当て推力：50N ・繰返し位置決め精度：±0.05mm ・位置・速度・推力の設定(64点) ・最大速度 (水平)：350mm/s ・対応コントローラ：LECP6，LECP1，LECPA，LECPMJ

・スライドテーブルタイプ ・小型・軽量 W20.5mm×H30mm×L125.6mm、質量240g ・最大押当て推力：50N ・繰返し位置決め精度：±0.05mm ・位置・速度・推力の設定(64点) ・最大速度 (水平)：350mm/s ・対応コントローラ：LECP6，LECP1，LECPA，LECPMJ

・ロッドタイプ ・小型・軽量 W20.5mm×H30mm×L125.6mm、質量240g ・最大押当て推力：50N ・繰返し位置決め精度：±0.05mm ・位置・速度・推力の設定(64点) ・最大速度 (水平)：350mm/s ・対応コントローラ：LECP6，LECP1，LECPA，LECPMJ