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・幅広いサイズバリエーション、接続口径1/8～2。 ・VEX1：大容量排気形減圧弁。

真空ラインの圧力制御が可能 一面配管仕様をシリーズ化 質量20%減(従来比) ワンタッチ管継手内蔵 クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能(標準配管仕様のみ) 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度(60°刻み)変更が容易

・3ポート大容量排気形減圧弁 タンク内圧の急速設定 ・エアブロー 定圧供給と駆動 バランスと駆動 ・二段切換設定 多段圧力制御

最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意 空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合) 質量最大60%削減[ZL1：180g→ZL112(従来品)：450g] 3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比) 吸込流量250%向上 3種類の真空圧力検出部 工具不要!メンテナンス工数の削減が可能

パッド径Φ1.5～Φ16 小形、省スペース、全長短縮 Φ2ワンタッチ管継手、バーブ継手付をラインナップ

真空ラインの圧力制御が可能 一面配管仕様をシリーズ化 質量20%減(従来比) ワンタッチ管継手内蔵 クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能(標準配管仕様のみ) 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度(60°刻み)変更が容易

真空ラインの圧力制御が可能 一面配管仕様をシリーズ化 質量20%減(従来比) ワンタッチ管継手内蔵 クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能(標準配管仕様のみ) 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度(60°刻み)変更が容易

真空ラインの圧力制御が可能 一面配管仕様をシリーズ化 質量20%減(従来比) ワンタッチ管継手内蔵 クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能(標準配管仕様のみ) 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度(60°刻み)変更が容易

最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意 空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合) 質量最大60%削減[ZL1：180g→ZL112(従来品)：450g] 3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比) 吸込流量250%向上 3種類の真空圧力検出部 工具不要!メンテナンス工数の削減が可能

・3色表示・2画面表示の流量センサ。 ・温度センサを一体化。 ・40%小型化(メーカーPF2W比較) ・IP65対応、ノングリース仕様。 ・使用流体温度0～90℃ ・塩化ビニル製配管タイプ：脱イオン水(純水)・薬液に対応。

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

真空ラインの圧力制御が可能 一面配管仕様をシリーズ化 質量20%減(従来比) ワンタッチ管継手内蔵 クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能(標準配管仕様のみ) 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度(60°刻み)変更が容易

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]