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・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

16%軽量化、11%小型化(IS1000比較) 寿命500万回。 モジュラF.R.L.に接続可能。

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C

・ガイドボディ、前プレートをコンパクトにした直線移動ユニット。 ・小形・軽量・省スペース対応。

真空ラインの圧力制御が可能 一面配管仕様をシリーズ化 質量20%減(従来比) ワンタッチ管継手内蔵 クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能(標準配管仕様のみ) 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度(60°刻み)変更が容易

・大形シリンダの中間停止・非常停止 ・セレクタ・デバイダ弁としても使えるユニバーサル・ポーティング ・真空吸着と真空破壊に ・複動シリンダの挙動制御に

・薄形・コンパクト・高精度のガイド機能をもつピック&プレース用。 ・ガイド機能をもつピック&プレース等に適した2本ロッドシリンダ。 ・全シリーズボールブッシュ軸受、すべり軸受を標準化 ボールブッシュ軸受、すべり軸受の外形寸法は同一です。 ・推力2倍 不回転精度±0.1° ・ストロークアジャスト 0～-5mm。 ・ワーク取付は3面から可能。

・全長を薄くした角形タイプでオートスイッチ取付が3面または4面取付可能。 オートスイッチ取付時本体からのはみ出しがないコンパクトシリンダ。 ・2山クレビス用受金具、コンパクトフート形金具を新たに追加 ・オートスイッチ付(CDQSシリーズ：CDQS、CDQSW、CDQSK、CDQSKW、 CDQS□S)

・全長を薄くした角形タイプでオートスイッチ取付が3面または4面取付可能。 オートスイッチ取付時本体からのはみ出しがないコンパクトシリンダ。 ・2山クレビス用受金具、コンパクトフート形金具を新たに追加 ・オートスイッチ付(CDQSシリーズ：CDQS、CDQSW、CDQSK、CDQSKW、 CDQS□S)

乾燥空気、N2、Ar、CO2 1台で幅広い流量の計測が可能 レンジアビリティ 100：1、最小設定単位 0.01L/min 耐ドレン・耐異物性向上 小型・軽量 質量：27.3%低減(55g→40g) 低消費電流：35mA以下 ノングリース IO-Link対応

・コンパクトで堅牢な安全設計。 ・容易なエレメント交換。 ・油の流れ方向を反転可能。 ・差圧表示器、差圧表示スイッチ(CB-□□H)により目詰まり状態の検知が 可能。

・電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御 ・流量：最大約5倍(従来品と比較) ・感度：±0.2%F.S.以下 ・リニアリティ：±1%F.S.以下 ・ヒステリシス：0.5%F.S.以下

ZFCシリーズ用交換用エレメント

・配置条件に応じた自由な選択が可能。 ハンドル位置：上、正面、下 配管方向：上、下 ワンタッチ管継手種類：ストレート、エルボ ・ワンタッチ管継手種類、サイズの変更が可能。 ・逆流機能標準対応。 ・デジタル圧力スイッチ対応。

油・水・異物などの不純物を除去して、下流のドライヤの機能向上や精密フィルタのエレメント寿命を延長し、機器のトラブルを防止します。

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C

真空ラインの圧力制御が可能 一面配管仕様をシリーズ化 質量20%減(従来比) ワンタッチ管継手内蔵 クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能(標準配管仕様のみ) 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度(60°刻み)変更が容易