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小型でマイクロスイッチ相当 配管方向の選択が可能 横配管型/下配管型 横配管型で取付方法の選択が可能 横取付/仮面取付ネジ付/専用ブラケット 豊富な種類のアクチュエータ

●フラットで一体感のあるデザイン ●視認性&耐環境性向上

乾燥空気、N2、Ar、CO2 1台で幅広い流量の計測が可能 レンジアビリティ 100：1、最小設定単位 0.01L/min 耐ドレン・耐異物性向上 小型・軽量 質量：27.3%低減(55g→40g) 低消費電流：35mA以下 ノングリース IO-Link対応

・全高低減：10%減(27mm：従来30mm) ・製品質量：22%削減(298g：従来380g) ・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)

・全高低減：10%減(27mm：従来30mm) ・製品質量：22%削減(298g：従来380g) ・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)

・省電力 消費電力：0.4W(標準) ・バルブの増減連が容易 ・ワンビス取付によりメンテナンス工数削減 ・ワンタッチ管継手交換が、クリップ式で簡単 ・コネクタ取出し方向がワンプッシュで変更可能 ・4位置デュアル3ポート弁 ・背圧防止弁内蔵(オプション) ・マニホールド型式：SS5Q13，SS5Q14，SS5Q23，SS5Q24

・ワークテーブル+コンパクトに一体化。 ・精密組立用に最適なエアスライドテーブル。 ・高剛性/高精度。 ・クロスローラガイドの採用によりガタのない、なめらかな動きを実現。 ・小形/軽量。 ・デュアルロッドの採用により従来のシリンダの2倍の出力が得られます。

・空気、N2、Ar、CO2 ・ノングリース仕様。 ・流量調整弁一体化。 ・小型、軽量、省スペース。

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・ガイドボディ、前プレートをコンパクトにした直線移動ユニット。 ・小形・軽量・省スペース対応。

・全高低減：10%減(27mm：従来30mm) ・製品質量：22%削減(298g：従来380g) ・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)

・全高低減：10%減(27mm：従来30mm) ・製品質量：22%削減(298g：従来380g) ・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・ワークテーブル+コンパクトに一体化。 ・精密組立用に最適なエアスライドテーブル。 ・高剛性/高精度。 ・クロスローラガイドの採用によりガタのない、なめらかな動きを実現。 ・小形/軽量。 ・デュアルロッドの採用により従来のシリンダの2倍の出力が得られます。

・全高低減：10%減(27mm：従来30mm) ・製品質量：22%削減(298g：従来380g) ・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)

・ワークテーブル+コンパクトに一体化。 ・精密組立用に最適なエアスライドテーブル。 ・高剛性/高精度。 ・クロスローラガイドの採用によりガタのない、なめらかな動きを実現。 ・小形/軽量。 ・デュアルロッドの採用により従来のシリンダの2倍の出力が得られます。

・全高低減：10%減(27mm：従来30mm) ・製品質量：22%削減(298g：従来380g) ・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)

・全高低減：10%減(27mm：従来30mm) ・製品質量：22%削減(298g：従来380g) ・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)

最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意 空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合) 質量最大60%削減[ZL1：180g→ZL112(従来品)：450g] 3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比) 吸込流量250%向上 3種類の真空圧力検出部 工具不要!メンテナンス工数の削減が可能

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]