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エアチャック等小型アクチュエータのストローク位置を検出。繰返し精度0.1mm。ティーチユニットを分離しセンサヘッド部を小型化。無接点オートスイッチD-M9□型と同等形状。アナログ出力対応。スイッチ出力対応。IO-Link対応

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応。 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上。 小型軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能。