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・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

・コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ。 流体に接する金属は全てSUS316を使用 ・禁油。 油脂類を一切使用しない部品構成 ・2種類のダイヤフラム材質：PTFE、フッ素ゴム。

・テンションコントロール。 ・接圧コントロール。 ・設定感度：0.2%F.S.以内。 ・繰返性±：0.5%F.S.以内。

テンションコントロール。 接圧コントロール。 設定感度：0.2%F.S.以内。 繰返性±：0.5%F.S.以内。

テンションコントロール。 接圧コントロール。 設定感度：0.2%F.S.以内。 繰返性±：0.5%F.S.以内。

直動式ソレノイドバルブ。 圧力は0MPaから使用可能。 主弁構造はメタルシール方式。 マニホールド型式：VVS410，VVS411

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

傾斜したワークの吸着に適した首振りタイプ パッド径/Φ10～Φ50

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

直動式ソレノイドバルブ。 圧力は0MPaから使用可能。 主弁構造はメタルシール方式。 マニホールド型式：VVS410，VVS411

・繰り返し衝突する断続的なエアブローにより、連続ブロー比 除去効率35% 向上(※メーカー試験による)・CO2排出量(空気消費量)50%削減・周波数(作動頻度)の調整が可能・外部電源不要 エアの供給でパルスブローが可能・低圧力損失の実現 大きな有効断面積(10.3mm2)により、空気消費量を削減・ブラケット取付で据え置き使用・ブローガンとの組合せ使用・コンパクト・軽量 質量：47g 容積：59.4mm×24mm×28mm

作業性向上 エレメントとケースの一体化により手元でのエレメント交換が可能と なりました。 メンテナンススペース削減 最大46%減 視認性&安全性向上 透明ケースガードでケース全周を覆いました。

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・作業性向上 エレメントとケースの一体化により手元でのエレメント交換が可能と なりました。 ・メンテナンススペース削減 最大46%減 ・視認性&安全性向上 透明ケースガードでケース全周を覆いました。

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]