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・1台で流量を自動調整・乾燥空気， N₂， Ar， CO₂・カラー表示・2画面表示対応 瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で確認・IO-Linkに対応・レンジアビリティ 100：1・1台で幅広い流量の制御が可能

・薄形・コンパクト・高精度のガイド機能をもつピック&プレース用。 ・ガイド機能をもつピック&プレース等に適した2本ロッドシリンダ。 ・全シリーズボールブッシュ軸受、すべり軸受を標準化 ボールブッシュ軸受、すべり軸受の外形寸法は同一です。 ・推力2倍 不回転精度±0.1° ・ストロークアジャスト 0～-5mm。 ・ワーク取付は3面から可能。

・薄形・コンパクト・高精度のガイド機能をもつピック&プレース用。 ・ガイド機能をもつピック&プレース等に適した2本ロッドシリンダ。 ・全シリーズボールブッシュ軸受、すべり軸受を標準化 ボールブッシュ軸受、すべり軸受の外形寸法は同一です。 ・推力2倍 不回転精度±0.1° ・ストロークアジャスト 0～-5mm。 ・ワーク取付は3面から可能。

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・独自構造により押出し方向の出力を2倍、シリンダ内部にすべりキーによる 回り止め構造のため負荷の直接取付が可能。