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プラグインユニット (VV5Q11-08C6S～)SMC￥68,980税込￥75,878
1個
4日以内出荷から9日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
真空ユニット(ZX1051-P～)SMC￥21,980税込￥24,178
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
仕様真空用デジタル圧力スイッチユニットの場合(ZSE3)：なしCE-対応品-エジェクタ排気形式サイレンサ付PV・Vポート管接続口径M5X0.8エジェクタユニットノズル径0.5mmオーダーメイド仕様標準
プラグインユニット (VV5Q21-08C8～)SMC￥81,980税込￥90,178
1個
9日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
プラグインユニット (VV5Q21-06C4～)SMC￥74,980税込￥82,478
1個
9日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
プラグインユニット (VV5Q21-03C6～)SMC￥63,980税込￥70,378
1個
9日以内出荷から13日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
プラグインユニット (VV5Q21-02C6～)SMC￥59,980税込￥65,978
1個
9日以内出荷から11日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
真空ユニット(ZX100-K3～)SMC￥35,980税込￥39,578
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
プラグインユニット (VV5Q21-08C6S～)SMC￥82,980税込￥91,278
1個
9日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
プラグインユニット (VV5Q11-04C6P～)SMC￥15,980税込￥17,578
1個
9日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
プラグインユニット (VV5Q11-08C4S～)SMC￥68,980税込￥75,878
1個
9日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
プラグインユニット (VV5Q21-05C6～)SMC￥71,980税込￥79,178
1個
9日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
真空ユニット(ZX1071-J～)SMC￥34,980税込￥38,478
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
真空ユニット(ZX1102-K～)SMC￥35,980税込￥39,578
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
真空ユニット(ZX1103-～)SMC￥32,980～税込￥36,278～
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
Z Series(ZX1101)SMC￥35,980税込￥39,578
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
真空ユニット(ZX1071-K1～)SMC￥35,980税込￥39,578
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
真空ユニット(ZX1053-～)SMC￥35,980税込￥39,578
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
真空ユニット(ZX100-K15～)SMC￥31,980税込￥35,178
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
真空ユニット(ZX1072-～)SMC￥35,980税込￥39,578
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
真空ユニット(ZX1051-K1～)SMC￥35,980税込￥39,578
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
真空ユニット(ZX1051-J～)SMC￥32,980税込￥36,278
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
真空ユニット(ZX1101-K15～)SMC￥35,980税込￥39,578
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
小型目盛付スピードコントローラー AS-FSMA/FSCAシリーズSMC￥1,998～税込￥2,198～
1個
13日以内出荷から17日以内出荷
流量を数値管理可能な目盛窓付
分解能向上により微調整が可能。
副尺表示により、1/4毎の細かい設定が可能
32分割(ボディサイズ1)
40分割(ボディサイズ2)
作業工数、設定ミスを低減
形式エルボタイプRoHS指令(10物質対応)対応
ノンフロン(CO2冷媒)対応冷凍式サーモチラー HRZCSMC￥6,498,000～税込￥7,147,800～
1個
21日以内出荷
・ノンフロン。・CO2冷媒を採用。・GWPを大幅に削減。・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可。 EU冷媒規制 ：GWP150以上。 米国冷媒規制 ：GWP700以上。 カリフォルニア州冷媒規制 ：GWP750以上。 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能。・フロン回収、廃棄コスト不要。・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要
用途ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ 循環液温調装置質量(kg)175±5外形寸法(mm)380×870×950適合規格SEMI、CE/UKCA、UL電源電圧3相AC200/200～208±10%(50/60Hz)冷却方式水冷冷凍式使用冷媒R744(CO2、GWP:1)温度制御方式PID制御設定温度範囲-20～90℃/(温度安定性)±0.1周囲温度(℃)10～35冷却能力(kW)10RoHS指令(10物質対応)対応運転電流(A)最大26
プラグインユニット (VV5Q11-06C6S～)SMC￥64,980～税込￥71,478～
1個
9日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
プラグインユニット (VV5Q11-05C6S～)SMC￥61,980～税込￥68,178～
1個
9日以内出荷
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
冷凍式サーモチラー/HRZC CO2冷媒対応 (ノンフロン) SEMI規格適合SMC￥5,498,000～税込￥6,047,800～
1台
45日以内出荷
・ノンフロン。・CO2冷媒(R744)対応。・GWPを大幅に削減。・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可。 EU冷媒規制 ：GWP150以上。 米国冷媒規制 ：GWP700以上。 カリフォルニア州冷媒規制 ：GWP750以上。 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能。・フロン回収、廃棄コスト不要。・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要
冷却方式水冷冷凍式RoHS指令(10物質対応)対応
