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水冷却式サーモチラー/高機能インバータタイプ HRW03
SMC￥2,898,000税込￥3,187,8001個7日以内出荷・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。ねじの種類Rc冷却方式水冷却式冷却能力(kW)30
冷凍式サーモチラー/高機能タイプ HRZ01
SMC￥3,498,000税込￥3,847,8001個7日以内出荷・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。ねじの種類Rc冷却方式水冷冷凍式冷却能力(kW)10水冷却式サーモチラー/高機能インバータタイプ HRW00
SMC￥2,498,000税込￥2,747,8001個7日以内出荷・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。ねじの種類Rc冷却方式水冷却式水冷却式サーモチラー/高機能インバータタイプ HRW01
SMC￥2,598,000税込￥2,857,8001個7日以内出荷・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。ねじの種類Rc冷却方式水冷却式冷却能力(kW)15
ノンフロン(CO2冷媒)対応冷凍式サーモチラー HRZC
SMC￥6,698,000～税込￥7,367,800～1個21日以内出荷・ノンフロン。・CO2冷媒を採用。・GWPを大幅に削減。・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可。 EU冷媒規制 ：GWP150以上。 米国冷媒規制 ：GWP700以上。 カリフォルニア州冷媒規制 ：GWP750以上。 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能。・フロン回収、廃棄コスト不要。・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要用途ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ 循環液温調装置質量(kg)175±5外形寸法(mm)380×870×950適合規格SEMI、CE/UKCA、UL電源電圧3相AC200/200～208±10%(50/60Hz)冷却方式水冷冷凍式使用冷媒R744(CO2、GWP:1)温度制御方式PID制御設定温度範囲-20～90℃/(温度安定性)±0.1周囲温度(℃)10～35冷却能力(kW)10RoHS指令(10物質対応)対応運転電流(A)最大26
冷凍式サーモチラー/HRZC CO2冷媒対応 (ノンフロン) SEMI規格適合
SMC￥5,698,000～税込￥6,267,800～1台45日以内出荷・ノンフロン。・CO2冷媒(R744)対応。・GWPを大幅に削減。・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可。 EU冷媒規制 ：GWP150以上。 米国冷媒規制 ：GWP700以上。 カリフォルニア州冷媒規制 ：GWP750以上。 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能。・フロン回収、廃棄コスト不要。・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要冷却方式水冷冷凍式RoHS指令(10物質対応)対応
