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・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

3段ディフューザ構造により吸込流量増加 デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

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・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

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・ノンフロン・CO2冷媒を採用・GWPを大幅に削減・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可 EU冷媒規制 ：GWP150以上 米国冷媒規制 ：GWP700以上 カリフォルニア州冷媒規制 ：GWP750以上 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能・フロン回収、廃棄コスト不要・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要

・ボディの多面直接取付が可能な省スペースのエアシリンダ。 ・シリーズも豊富に充実。