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・ショックを嫌うワークのスピード搬送を実現。 ・シンプルな回路で省スペース化を実現。 ・クリーンルームClass M3.5(Fed.Std.209E)に対応 クリーンルーム対応形では、リリーフポートからの 排気や真空掃引によって内部の発塵を除去します。

・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ ・排気エア清浄度:ISO Class5(クラス100 Fed.Std.209D)相当 ・安心の2段エレメント構造 第1エレメント油飽和後、2次側に流出する油を第2エレメント捕集。 外部への再飛散を一定期間防止します。

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