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・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

2層チューブの外層剥離が簡単。 外層との密着性の高い2層ポリウレタンチューブ(TRBUシリーズ)でも容易に剥離できます。

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 ・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 ・コンパクト W377×H615×D500、40kg ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 ・自己診断機能。 ・海外輸出用装置に最適(単相AC200～230V、単相AC100V，115V) ・CEマーキング、ULに適合。