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デジタルマスフローコントローラ：MQVシリーズazbil(旧:山武)￥439,800～税込￥483,780～
1個
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●熱式マスフロー(μF/マイクロフロー)センサ採用：質量流量を直接計測するため、温度・圧力変動の影響を受けにくい安定制御。
●高速応答・広レンジ：約300msの高速制御と100:1の広い制御レンジで、設定変更や外乱に強い。
●低差圧動作：ストレート流路構造により圧力損失が小さく、低圧供給ガスでも制御可能。
●使いやすい電源・設定：DC24V電源(ACアダプタ対応)で専用電源不要。PCローダ通信で設定・監視が容易。
●幅広い流量レンジ/ガス対応：微小流量(mL/min)から大流量(L/min)までラインアップ。
用途●工業炉・熱処理炉の雰囲気ガス制御：浸炭炉、焼鈍炉などで炉内ガス比率を精密制御。
●燃焼・加工用途(ろう付け/ガラス加工/切断)：燃料ガスと助燃ガスの比率制御で品質安定。
●真空装置・研究/試験装置：スパッタ、ガス分析、評価装置でのガス流量制御。
●半導体・電子分野(パージ・雰囲気制御)：ロードポート等でのN2パージや雰囲気管理
