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アンプ内蔵漏液センサ HPQ-D シリーズ
azbil(旧:山武)￥8,698～税込￥9,568～1個当日出荷から68日以内出荷主に半導体製造装置 や液晶製造装置(前工程)において 酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うスイッチです。
