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オイルミストトラップEMF3の交換用オイルエレメント(展開図：(8))です。

稼働中でもポンプの構成を変える事ができます。 ソケット付きデュアル電圧/デュアル周波数モーターを装備していますので、取り付けが容易です。

ロータリー真空ポンプのブレードキットです。

加圧給油方式を採用で、大気圧から高真空までの運転がスムーズです。RVシリーズはオイル流量の調節バルブ内蔵。 オイルの逆流防止機構内蔵で、停電などの突然の停止にもオイルの逆流を防止し、システム側を真空状態に保ちます。

Edwardsのアクティブ ストレイン(ひずみ)ゲージ(ASG2)は堅牢で耐食性に優れたダイヤフラム ゲージであり、100，000 Pa～100 Paの範囲でガスに依存しない精度の高い測定が可能です。 アクティブ ストレイン(ひずみ)ゲージは、大気圧に近い圧力の高精度でガスに依存しない測定が必要な場合に適しており、ロード ロックなどの用途に最適です。 独立したトランスデューサとして使用できるため、OEMやシステム ビルダーはそれぞれの真空計測のニーズに合ったフレキシブルなソリューションを低コストで開発できます。 また、このゲージをTICインスツルメント コントローラに接続することもできるため、他のさまざまなセンサと組み合わせることにより、完全な真空計測ソリューションを構築できます。

1 ライトリングによる圧力表示 新開発のライトリングにより、 セントラルインターフェイスから離れまた場所でシステムの圧力を確認可能です。 2 コンパクトサイズ APG100シリーズと比べ、 性能を損なうことなく25% 小型化しています。 3 長くなったフィラメント 独自設計によりフィラメント長の最大化に成功し、 感度の強化によって測定範囲の上限と下限の反応性も 向上しました。 4 内蔵フィルター 内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去するので、設置すればほぼ保守の必要はありません。 5 幅広い電源に対応 15～48Vの幅広い入力電源は業界最大で、電源を気にすることなくゲージを使用することができます。 6 取り付けが簡単 お客様が一番したくないのがソフトウェアの変更や時間のかかる適格性確認です。 そのため、 Edwardsでは最も一般的な出力に対応したモデルを取り揃えました。これにより、 アップグレードがさらに簡単になっています。 7 デジタル/アナログ Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じです。 データ収集/制御の必要性が増した場合、あとから簡単にアップグレードすることができます。 8 セットポイントリレー Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備しているので、幅広い連鎖アクションを起動することができます。

ターボ分子ポンプnEXT85の交換用ベアリング及びオイルカートリッジです。

ターボ分子ポンプnEXT85の交換用オイルカートリッジです。

nEXT85のベアリング交換作業に必要な工具キットです。