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マスフローコントローラ 3660
コフロック￥159,800税込￥175,7801個当日出荷から49日以内出荷定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。 安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)材質接ガス部材質：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプション NBR or CR)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS再現性(%)±0.5F.S耐圧(MPa)1(G)接続電気：D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)使用電源+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA周囲湿度(%RH)許容：10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45入圧(kPa)最大500(G)保存温度範囲(℃)許容：-10～60耐圧(kPa)980(G)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)校正温度(℃)20
表示器付マスフローコントローラ
コフロック￥199,800税込￥219,7801個当日出荷から34日以内出荷流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。 DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。 ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。 センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。 別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。使用圧力範囲入口最大圧：500kPa(G)材質接ガス部：SUS316、SUS316L、磁性ステンレス(MFCのみ)、FKM(オプションNBR or CR)タイプマスフローコントローラ(MC)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS測定方法熱式測定対象気体許容周囲温度(℃)-10～60表示器付マスフローメータ
コフロック￥139,800税込￥153,7801個34日以内出荷流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。 DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。 ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。 センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。 別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。最大圧力(kPa)入口：500材質接ガス部：SUS316L、SUS316、FKMタイプマスフローメータ(MM)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS測定方法熱式保存温度(℃)-10～60測定対象気体許容周囲温度(℃)5～45
